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文章概述：温差热偶真空规是一种用于测量低真空度的仪器。
其工作原理是利用温差电效应，通过测量热偶丝两端的温差来确定真空度。
该方法适用于测量 10^-1 至 10^3Pa 的真空度范围。
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温差热偶真空规是一种用于测量低真空度的仪器。
其工作原理是利用温差电效应，通过测量热偶丝两端的温差来确定真空度。
该方法适用于测量 10^-1 至 10^3Pa 的真空度范围。
具有响应速度快、精度较高等优点。
但在测量高真空度时，精度会下降。
