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文章概述：激光干涉仪：用于高精度测量位移和校准位移校准器。
电容式位移传感器：可测量微小位移变化。
电感式位移传感器：适用于测量较大位移范围。
光栅尺：常用于位移测量和校准。
千分表
激光干涉仪：用于高精度测量位移和校准位移校准器。
电容式位移传感器：可测量微小位移变化。
电感式位移传感器：适用于测量较大位移范围。
光栅尺：常用于位移测量和校准。
千分表：可进行相对位移测量。
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