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文章概述：激光干涉仪：可用于测量位移机构的线性位移和角度位移，精度高。
光栅尺：常用于测量直线位移，具有较高的分辨率和精度。
电感式位移传感器：适用于测量微小位移，具有较好的线性度和稳
激光干涉仪：可用于测量位移机构的线性位移和角度位移，精度高。
光栅尺：常用于测量直线位移，具有较高的分辨率和精度。
电感式位移传感器：适用于测量微小位移，具有较好的线性度和稳定性。
电容式位移传感器：可测量微小位移，具有较高的分辨率。
光学编码器：用于测量角度位移，精度较高。
