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文章概述：电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：通过分析衍射图谱来确定位错的密度和类型。
原子力显微镜：用于检测材料表面的微观结构，包括位错。
扫描隧道显微镜：
电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：通过分析衍射图谱来确定位错的密度和类型。
原子力显微镜：用于检测材料表面的微观结构，包括位错。
扫描隧道显微镜：能够提供原子级别的分辨率，对位错进行高分辨率成像。
磁力显微镜：可检测位错引起的磁场变化。
