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文章概述：激光干涉法：利用激光干涉原理测量位移增量，具有高精度和高分辨率。
电容传感器法：通过电容变化测量位移增量，适用于小位移测量。
电感传感器法：基于电感变化测量位移增量，常用于工
激光干涉法：利用激光干涉原理测量位移增量，具有高精度和高分辨率。
电容传感器法：通过电容变化测量位移增量，适用于小位移测量。
电感传感器法：基于电感变化测量位移增量，常用于工业自动化领域。
应变片法：通过测量应变来间接测量位移增量。
光栅尺法：利用光栅的衍射效应测量位移增量，精度较高。
