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文章概述：激光干涉法：通过激光干涉仪测量位移校准器的位移量，具有高精度和高分辨率。
电容传感器法：利用电容传感器测量位移校准器的位移变化，适用于小位移测量。
光栅尺法：通过光栅尺测量
激光干涉法：通过激光干涉仪测量位移校准器的位移量，具有高精度和高分辨率。
电容传感器法：利用电容传感器测量位移校准器的位移变化，适用于小位移测量。
光栅尺法：通过光栅尺测量位移校准器的位移，精度较高。
电感传感器法：利用电感传感器测量位移校准器的位移，适用于较大位移测量。
