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文章概述：电子显微镜：用于观察位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：分析晶体结构和位错密度。
原子力显微镜：检测位错引起的表面形貌变化。
光学显微镜：初步观察位错的存在。
扫描电子显微镜
电子显微镜：用于观察位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：分析晶体结构和位错密度。
原子力显微镜：检测位错引起的表面形貌变化。
光学显微镜：初步观察位错的存在。
扫描电子显微镜：提供高分辨率的位错图像。
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