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文章概述：电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：通过分析晶体结构来间接检测位错。
原子力显微镜：用于测量表面形貌和原子级别的结构。
扫描隧道显微镜：能够提供原
电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：通过分析晶体结构来间接检测位错。
原子力显微镜：用于测量表面形貌和原子级别的结构。
扫描隧道显微镜：能够提供原子级分辨率的图像。
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