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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量表面形貌和位错的局部结构。
扫描隧道显微镜：可提供原子级分辨
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量表面形貌和位错的局部结构。
扫描隧道显微镜：可提供原子级分辨率的表面图像。
硬度测试仪：间接评估位错密度和材料的力学性能。
