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文章概述：扫描电子显微镜：用于观察位错坑蚀的形态和结构。
原子力显微镜：可提供更高分辨率的表面形貌信息。
光学显微镜：用于初步观察和定位位错坑蚀。
扫描电子显微镜：用于观察位错坑蚀的形态和结构。
原子力显微镜：可提供更高分辨率的表面形貌信息。
光学显微镜：用于初步观察和定位位错坑蚀。
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