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文章概述：位错交截检测可以使用以下仪器：
1. 扫描电子显微镜（SEM）：可以用于观察位错的形态和分布，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
2. 透射电子显微镜（TEM）：可以用于观察位错的微观结构和
位错交截检测可以使用以下仪器：
1. 扫描电子显微镜（SEM）：可以用于观察位错的形态和分布，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
2. 透射电子显微镜（TEM）：可以用于观察位错的微观结构和晶体结构，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
3. X 射线衍射仪（XRD）：可以用于分析位错的晶体结构和取向，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
4. 原子力显微镜（AFM）：可以用于观察位错的表面形貌和微观结构，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
5. 电子背散射衍射仪（EBSD）：可以用于分析位错的晶体结构和取向，以及位错与其他晶体缺陷的相互作用。
