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文章概述：X 射线衍射仪：利用 X 射线衍射技术，对位错的晶体结构进行分析。
电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量位错引起的表面形貌变化。
X 射线衍射仪：利用 X 射线衍射技术，对位错的晶体结构进行分析。
电子显微镜：可以直接观察到位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量位错引起的表面形貌变化。
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