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文章概述：X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和位错叠合情况。
扫描电子显微镜：可以观察样品表面的形貌和位错叠合的微观结构。
透射电子显微镜：提供高分辨率的位错叠合图像。
原子力显微镜：
X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和位错叠合情况。
扫描电子显微镜：可以观察样品表面的形貌和位错叠合的微观结构。
透射电子显微镜：提供高分辨率的位错叠合图像。
原子力显微镜：用于测量表面形貌和位错叠合的高度信息。
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