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文章概述：电子显微镜检测：通过电子显微镜观察位错的形态和分布。
X 射线衍射检测：分析晶体结构中的位错特征。
原子力显微镜检测：提供位错的高分辨率图像。
电子显微镜检测：通过电子显微镜观察位错的形态和分布。
X 射线衍射检测：分析晶体结构中的位错特征。
原子力显微镜检测：提供位错的高分辨率图像。
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