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文章概述：真空量检测通常使用真空度计仪器，常见的有：
1. 热电离真空计：基于热电离原理，通过测量电离电流来确定真空度。
2. 磁控溅射离子规：利用离子击穿气体产生磁场的特性，测量气体中离子
真空量检测通常使用真空度计仪器，常见的有：
1. 热电离真空计：基于热电离原理，通过测量电离电流来确定真空度。
2. 磁控溅射离子规：利用离子击穿气体产生磁场的特性，测量气体中离子电流来确定真空度。
3. 电子枪真空计：基于二次电子发射原理，通过测量二次电子产生的电流来确定真空度。
4. 气体放电管真空计：利用气体放电产生的离子或电子电流来测量真空度。
以上仪器可以选择适合检测范围和精度的型号和规格。
