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文章概述：激光干涉仪：可用于检测线性位移、角度、平面度等参数的未调准情况。
三坐标测量机：能够对物体的三维形状和尺寸进行精确测量，可用于检测未调准的情况。
影像测量仪：通过图像分析
激光干涉仪：可用于检测线性位移、角度、平面度等参数的未调准情况。
三坐标测量机：能够对物体的三维形状和尺寸进行精确测量，可用于检测未调准的情况。
影像测量仪：通过图像分析技术，可对物体的尺寸、形状等进行测量，适用于检测未调准。
电子水平仪：用于测量平面的水平度，可检测出未调准的倾斜情况。
激光跟踪仪：能够实时跟踪和测量物体的位置和姿态，可用于检测未调准。
