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文章概述：1. 栅格检测仪器：使用光学显微镜进行栅格填充检测。
2. 栅格剖面仪：用于测量栅格的高度和宽度，以确定填充是否均匀。
3. 聚光灯：用于照射栅格样品，以便观察填充情况。
1. 栅格检测仪器：使用光学显微镜进行栅格填充检测。
2. 栅格剖面仪：用于测量栅格的高度和宽度，以确定填充是否均匀。
3. 聚光灯：用于照射栅格样品，以便观察填充情况。
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