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文章概述：X 射线衍射仪：可以测量材料中的微观应力和晶格应变。
电子背散射衍射仪（EBSD）：用于分析晶体结构和微观应力。
纳米压痕仪：可测量微小区域的硬度和弹性模量，间接反映微应力。
激光
X 射线衍射仪：可以测量材料中的微观应力和晶格应变。
电子背散射衍射仪（EBSD）：用于分析晶体结构和微观应力。
纳米压痕仪：可测量微小区域的硬度和弹性模量，间接反映微应力。
激光拉曼光谱仪：通过分析拉曼散射光谱来检测微应力。
原子力显微镜（AFM）：可以测量表面形貌和微观应力分布。
