光学显微镜：用于观察微型扫描仪的光学部件，如镜头、反射镜等，检测其表面质量、光学性能等。

电子显微镜：用于观察微型扫描仪的微观结构，如芯片、电路板等，检测其制造工艺、缺陷等。

X 射线衍射仪：用于分析微型扫描仪的材料结构，如晶体结构、相组成等，检测其材料质量、纯度等。

光谱仪：用于分析微型扫描仪的光学性能，如波长、带宽、功率等，检测其光源质量、光谱特性等。

示波器：用于检测微型扫描仪的电信号，如电压、电流、频率等，检测其电路性能、信号传输等。

信号分析仪：用于分析微型扫描仪的信号质量，如噪声、失真、干扰等，检测其信号处理能力、抗干扰能力等。

功率计：用于检测微型扫描仪的功率输出，如激光功率、扫描功率等，检测其功率稳定性、能量输出等。

温度计：用于检测微型扫描仪的工作温度，如芯片温度、外壳温度等，检测其散热性能、工作稳定性等。

湿度计：用于检测微型扫描仪的工作环境湿度，检测其防潮性能、可靠性等。

振动测试仪：用于检测微型扫描仪在工作过程中的振动情况，检测其结构稳定性、抗震性能等。