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文章概述：显微镜：用于观察微型操纵器的微观结构和表面形貌。
力传感器：测量微型操纵器施加的力和扭矩。
位移传感器：检测微型操纵器的位移和位置精度。
光学测量系统：如激光干涉仪，用于测
显微镜：用于观察微型操纵器的微观结构和表面形貌。
力传感器：测量微型操纵器施加的力和扭矩。
位移传感器：检测微型操纵器的位移和位置精度。
光学测量系统：如激光干涉仪，用于测量微型操纵器的运动精度和重复性。
电学测试仪器：如示波器、多用表等，用于检测微型操纵器的电气性能。
材料测试仪器：如硬度计、拉伸试验机等，用于测试微型操纵器的材料性能。
环境测试设备：如温湿度箱、振动台等，用于模拟微型操纵器的工作环境。
