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文章概述：电子显微镜：用于观察微通道板的微观结构和表面形貌。
X 射线衍射仪：可分析微通道板的晶体结构。
荧光光谱仪：检测微通道板的荧光特性。
电性能测试仪：测量微通道板的电性能参数
电子显微镜：用于观察微通道板的微观结构和表面形貌。
X 射线衍射仪：可分析微通道板的晶体结构。
荧光光谱仪：检测微通道板的荧光特性。
电性能测试仪：测量微通道板的电性能参数。
真空度测试仪：检测微通道板的真空性能。
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