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文章概述：微射束法检测用到的仪器有微束 X 射线荧光光谱仪。
该仪器可以进行元素分析和成分分析，检测范围广泛，包括但不限于金属、陶瓷、玻璃、塑料等材料。
微射束法检测用到的仪器有微束 X 射线荧光光谱仪。
该仪器可以进行元素分析和成分分析，检测范围广泛，包括但不限于金属、陶瓷、玻璃、塑料等材料。
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