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文章概述：电子探针分析仪：可对微小区域进行元素分析，检测微区偏析。
扫描电子显微镜：用于观察样品表面形貌和成分分布，可检测微区偏析。
原子力显微镜：能分析微小区域的表面形貌和物理性质
电子探针分析仪：可对微小区域进行元素分析，检测微区偏析。
扫描电子显微镜：用于观察样品表面形貌和成分分布，可检测微区偏析。
原子力显微镜：能分析微小区域的表面形貌和物理性质，可用于检测微区偏析。
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