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文章概述：电子探针（EPMA）: 用于分析材料中元素的分布和含量。
激光诱导击穿光谱仪（LIBS）: 可快速检测材料中的元素成分。
扫描电子显微镜（SEM）: 观察材料的微观结构和成分分布。
能谱仪（EDS）:
电子探针（EPMA）
: 用于分析材料中元素的分布和含量。激光诱导击穿光谱仪（LIBS）
: 可快速检测材料中的元素成分。扫描电子显微镜（SEM）
: 观察材料的微观结构和成分分布。能谱仪（EDS）
: 与 SEM 结合，用于元素分析。原子力显微镜（AFM）
: 测量材料表面的形貌和物理性质。