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文章概述：影像测量法：通过光学影像系统对微小尺寸进行非接触式测量。
激光干涉测量法：利用激光干涉原理测量微小尺寸。
扫描电子显微镜：用于观察和测量微小物体的表面形貌和尺寸。
原子
影像测量法：通过光学影像系统对微小尺寸进行非接触式测量。
激光干涉测量法：利用激光干涉原理测量微小尺寸。
扫描电子显微镜：用于观察和测量微小物体的表面形貌和尺寸。
原子力显微镜：可实现对微小尺寸的高分辨率测量。
X 射线衍射：用于分析晶体结构和微小尺寸的测量。
电容传感器：适用于微小位移和尺寸的测量。
电感传感器：可测量微小尺寸的变化。
超声波测量法：利用超声波的传播特性进行微小尺寸测量。
