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文章概述：电子显微镜：用于观察微坑的形状、大小和分布。
三维轮廓仪：可测量微坑的深度和轮廓。
扫描探针显微镜：能提供微坑的高分辨率图像和表面形貌信息。
激光共聚焦显微镜：用于检测微
电子显微镜：用于观察微坑的形状、大小和分布。
三维轮廓仪：可测量微坑的深度和轮廓。
扫描探针显微镜：能提供微坑的高分辨率图像和表面形貌信息。
激光共聚焦显微镜：用于检测微坑的三维结构。
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