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文章概述：显微镜：用于观察微小物体的形态和结构。
光学测量仪：可测量物体的尺寸、形状、位置等参数。
干涉仪：用于测量物体表面的平整度和粗糙度。
激光扫描显微镜：能够对物体进行三维成
显微镜：用于观察微小物体的形态和结构。
光学测量仪：可测量物体的尺寸、形状、位置等参数。
干涉仪：用于测量物体表面的平整度和粗糙度。
激光扫描显微镜：能够对物体进行三维成像和表面形貌测量。
光谱仪：分析物体的光谱特性，如颜色、波长等。
