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文章概述：微光束方法检测用到的仪器是微光束分析仪。
它可以用于分析微小样品的化学成分和结构。
能够检测微量元素和痕量物质。
对样品进行高分辨率的成像和分析。
微光束方法检测用到的仪器是微光束分析仪。
它可以用于分析微小样品的化学成分和结构。
能够检测微量元素和痕量物质。
对样品进行高分辨率的成像和分析。
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