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文章概述：电子显微镜：用于观察和分析微小物体的结构和形态。
微束 X 射线荧光光谱仪：可对微小区域进行元素分析。
微束激光诱导击穿光谱仪：用于分析微小样品的成分。
原子力显微镜：能够测
电子显微镜：用于观察和分析微小物体的结构和形态。
微束 X 射线荧光光谱仪：可对微小区域进行元素分析。
微束激光诱导击穿光谱仪：用于分析微小样品的成分。
原子力显微镜：能够测量微小物体的表面形貌和力学性质。
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