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文章概述：电子显微镜：用于观察微观结构和变形。
原子力显微镜：可测量表面形貌和微观变形。
X 射线衍射仪：分析晶体结构和微观应变。
激光干涉仪：测量微小位移和变形。
扫描探针显微镜：用于
电子显微镜：用于观察微观结构和变形。
原子力显微镜：可测量表面形貌和微观变形。
X 射线衍射仪：分析晶体结构和微观应变。
激光干涉仪：测量微小位移和变形。
扫描探针显微镜：用于高分辨率的表面形貌和变形测量。
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