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文章概述：扫描电子显微镜检测法：利用电子束扫描样品表面，获取微夹杂物的形貌和成分信息。
能谱分析检测法：通过对微夹杂物的元素组成进行分析，确定其成分。
X 射线衍射检测法：用于分析微夹
扫描电子显微镜检测法：利用电子束扫描样品表面，获取微夹杂物的形貌和成分信息。
能谱分析检测法：通过对微夹杂物的元素组成进行分析，确定其成分。
X 射线衍射检测法：用于分析微夹杂物的晶体结构。
光学显微镜检测法：直接观察微夹杂物的形态和分布。
