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文章概述：真空量仪器是用来测量和监测真空度的工具。以下是常见的真空量仪器：
1. 真空计：用于测量真空度的仪器。常见的真空计有罗宾管真空计、电离真空计、帕斯卡计、毛细管真空计等。
真空量仪器是用来测量和监测真空度的工具。以下是常见的真空量仪器：
1. 真空计：用于测量真空度的仪器。常见的真空计有罗宾管真空计、电离真空计、帕斯卡计、毛细管真空计等。
2. 气体质谱仪：通过质谱仪检测气体成分和真空度的分布情况。可以用于定量分析和检测真空系统中的杂质。
3. 压力计：常见的压力计有差压计、压电计、振动小翼式压力计等。在真空系统中，压力计被用来测量真空室内的气体压力。
4. 真空泵：用于提供真空环境的装置。常见的真空泵有机械泵、根沛泵、分子泵等。真空泵能够通过抽取气体将真空度提升到所需的水平。
5. 漏率检测仪：用于测量真空系统中的泄露情况。漏率检测仪可以通过检测指示剂或气体流量来确定真空系统是否存在泄漏。
总之，不同类型的真空量仪器可以根据需要选择，以满足对真空度及真空系统质量的检测要求。
