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文章概述：X 射线衍射法：通过测量晶体结构的变化来检测微观形变。
电子显微镜法：利用电子束对样品进行成像，可观察微观形变的细节。
原子力显微镜法：通过测量原子间的作用力来检测微观形变
X 射线衍射法：通过测量晶体结构的变化来检测微观形变。
电子显微镜法：利用电子束对样品进行成像，可观察微观形变的细节。
原子力显微镜法：通过测量原子间的作用力来检测微观形变。
激光干涉法：利用激光干涉原理测量微观形变。
应变片测量法：将应变片粘贴在样品上，通过测量应变片的电阻变化来检测微观形变。
