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文章概述：游标卡尺：用于测量微调装置的尺寸和精度。
千分尺：可精确测量微调装置的微小尺寸变化。
激光干涉仪：用于检测微调装置的位移和精度。
三坐标测量机：能够全面测量微调装置的几何
游标卡尺：用于测量微调装置的尺寸和精度。
千分尺：可精确测量微调装置的微小尺寸变化。
激光干涉仪：用于检测微调装置的位移和精度。
三坐标测量机：能够全面测量微调装置的几何形状和位置精度。
硬度计：用于测试微调装置的硬度。
粗糙度仪：检测微调装置表面的粗糙度。
电子天平：测量微调装置的质量。
光学显微镜：观察微调装置的微观结构。
投影仪：用于测量微调装置的形状和尺寸。
扭矩扳手：测试微调装置的扭矩。
