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文章概述：真空恶化检测是一种用于检测真空系统中是否存在泄漏或损坏的方法。
下面是一些常见的真空恶化检测方法：
1. 流量法检测：通过在真空系统中注入一定流量的气体，并测量系统内气体
真空恶化检测是一种用于检测真空系统中是否存在泄漏或损坏的方法。
下面是一些常见的真空恶化检测方法：
1. 流量法检测：通过在真空系统中注入一定流量的气体，并测量系统内气体的流量变化来判断是否存在泄漏。
2. 热导法检测：利用热导元件在真空系统中测量气体的热导率，通过分析热导率的变化来判断是否存在泄漏。
3. 质谱法检测：使用质谱仪对真空系统中的气体进行质谱分析，通过检测特定气体的质谱峰来判断是否存在泄漏。
4. 声波法检测：利用超声波传感器在真空系统中检测声音信号的变化来判断是否存在泄漏。
5. 气泡法检测：在真空系统中涂抹一层特殊的液体，观察是否有气泡冒出来来判断是否存在泄漏。
