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文章概述：氦质谱检漏仪：用于检测真空系统中的微小泄漏，检测范围可达 10-13 立方米每秒。
真空计：用于测量真空度，检测范围可达 10-10 帕斯卡。
真空检漏仪：用于检测真空系统中的泄漏点，检测
氦质谱检漏仪：用于检测真空系统中的微小泄漏，检测范围可达 10-13 立方米每秒。
真空计：用于测量真空度，检测范围可达 10-10 帕斯卡。
真空检漏仪：用于检测真空系统中的泄漏点，检测范围可达 10-9 立方米每秒。
