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文章概述：真空度测量：使用真空计来测量真空系统中的压力，以确定是否达到完全真空。
泄漏检测：通过检测系统是否存在泄漏来判断是否为完全真空。
质谱分析：分析气体成分，以确定是否存在残留
真空度测量：使用真空计来测量真空系统中的压力，以确定是否达到完全真空。
泄漏检测：通过检测系统是否存在泄漏来判断是否为完全真空。
质谱分析：分析气体成分，以确定是否存在残留气体。
温度测量：检测系统温度，因为在完全真空下，温度会降低。
光学检测：利用光学方法检测系统中的微粒或污染物。
