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文章概述：外圆角光子检测通常使用以下仪器：
1. 光子计数器：用于测量光子的数量和强度。
2. 光谱仪：分析光子的波长和频率分布。
3. 显微镜：观察外圆角的微观结构。
4. **探测
外圆角光子检测通常使用以下仪器：
1. 光子计数器：用于测量光子的数量和强度。
2. 光谱仪：分析光子的波长和频率分布。
3. 显微镜：观察外圆角的微观结构。
4. 探测器：检测光子的能量和位置。
5. 激光扫描仪：获取外圆角的三维形状和尺寸信息。
