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文章概述：外逸电子探测器：用于探测外逸电子的强度和能量分布。
能谱仪：分析外逸电子的能量谱，获取其能量信息。
电子显微镜：对外逸电子进行成像和分析。
真空系统：提供高真空环境，减少干扰
外逸电子探测器：用于探测外逸电子的强度和能量分布。
能谱仪：分析外逸电子的能量谱，获取其能量信息。
电子显微镜：对外逸电子进行成像和分析。
真空系统：提供高真空环境，减少干扰。
信号处理系统：处理和分析检测到的电子信号。
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