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文章概述：外延扩散法检测通常使用以下仪器：
1. 外延炉：用于外延生长过程。
2. 四探针测试仪：测量外延层的电阻率。
3. 霍尔效应测试仪：确定载流子浓度和迁移率。
4. **扫描电
外延扩散法检测通常使用以下仪器：
1. 外延炉：用于外延生长过程。
2. 四探针测试仪：测量外延层的电阻率。
3. 霍尔效应测试仪：确定载流子浓度和迁移率。
4. 扫描电子显微镜（SEM）：观察外延层的表面形貌。
5. X 射线衍射仪（XRD）：分析外延层的晶体结构。
6. 光致发光谱仪（PL）：检测外延层的发光特性。
7. 二次离子质谱仪（SIMS）：分析外延层中的杂质分布。
