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文章概述：外延扩散法检测通常使用以下仪器：
1. **外延炉**：用于外延生长过程。
2. **四探针测试仪**：测量外延层的电阻率。
3. **霍尔效应测试仪**：确定载流子浓度和迁移率。
4. **扫描电
外延扩散法检测通常使用以下仪器：
1. **外延炉**：用于外延生长过程。
2. **四探针测试仪**：测量外延层的电阻率。
3. **霍尔效应测试仪**：确定载流子浓度和迁移率。
4. **扫描电子显微镜（SEM）**：观察外延层的表面形貌。
5. **X 射线衍射仪（XRD）**：分析外延层的晶体结构。
6. **光致发光谱仪（PL）**：检测外延层的发光特性。
7. **二次离子质谱仪（SIMS）**：分析外延层中的杂质分布。
