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文章概述：X 射线衍射（XRD）：用于检测外延生长基底的晶体结构和取向。
原子力显微镜（AFM）：可提供基底表面形貌和粗糙度的信息。
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察基底的微观结构和表面特征。
光学显
X 射线衍射（XRD）：用于检测外延生长基底的晶体结构和取向。
原子力显微镜（AFM）：可提供基底表面形貌和粗糙度的信息。
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察基底的微观结构和表面特征。
光学显微镜：可对基底进行宏观观察和缺陷检测。
荧光光谱：用于检测基底中的杂质和缺陷。
拉曼光谱：可提供基底的分子结构信息。
电学测试：如电阻率测试，用于评估基底的电学性能。
热分析：如差示扫描量热法（DSC），用于研究基底的热性能。
化学成分分析：如 X 射线荧光光谱（XRF），用于确定基底的元素组成。
