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文章概述：光学显微镜检测：通过显微镜观察外延层表面的缺陷，如位错、堆垛层错等。
X 射线衍射检测：用于检测外延层的晶体结构和缺陷。
扫描电子显微镜检测：可提供高分辨率的表面形貌图像，用
光学显微镜检测：通过显微镜观察外延层表面的缺陷，如位错、堆垛层错等。
X 射线衍射检测：用于检测外延层的晶体结构和缺陷。
扫描电子显微镜检测：可提供高分辨率的表面形貌图像，用于检测外延层的缺陷和杂质。
原子力显微镜检测：用于检测外延层的表面粗糙度和微观结构。
光致发光检测：通过测量外延层的发光特性来检测缺陷。
电学性能测试：如霍尔效应测试，用于检测外延层的电学性能和缺陷。
