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文章概述：光学显微镜检测：通过观察外延层表面的光学反射来检测堆垛层错。
扫描电子显微镜检测：利用电子束扫描外延层表面，获得高分辨率的图像，以检测堆垛层错。
原子力显微镜检测：通过测量
光学显微镜检测：通过观察外延层表面的光学反射来检测堆垛层错。
扫描电子显微镜检测：利用电子束扫描外延层表面，获得高分辨率的图像，以检测堆垛层错。
原子力显微镜检测：通过测量外延层表面的原子力来检测堆垛层错。
X 射线衍射检测：利用 X 射线衍射图谱来分析外延层的晶体结构，从而检测堆垛层错。
拉曼光谱检测：通过测量外延层的拉曼散射光谱来检测堆垛层错。
