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文章概述：扫描电子显微镜（SEM）：用于观察外延层和底层界面的微观结构。
原子力显微镜（AFM）：可提供高分辨率的表面形貌图像。
X 射线衍射（XRD）：分析晶体结构和外延层的结晶质量。
拉曼光谱：检测分
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察外延层和底层界面的微观结构。
原子力显微镜（AFM）：可提供高分辨率的表面形貌图像。
X 射线衍射（XRD）：分析晶体结构和外延层的结晶质量。
拉曼光谱：检测分子振动和晶体结构。
光致发光（PL）：研究外延层的光学性质。
二次离子质谱（SIMS）：分析元素组成和分布。
俄歇电子能谱（AES）：确定表面元素的化学状态。
透射电子显微镜（TEM）：提供更详细的微观结构信息。
