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文章概述：真空精炼检测是一种用于检测金属材料或合金中的杂质含量的方法。
常用的仪器有：
1. 真空炉：用于产生真空环境，保护材料免受氧化等污染。
2. 气体分析仪：用于检测真空炉中的气体
真空精炼检测是一种用于检测金属材料或合金中的杂质含量的方法。
常用的仪器有：
1. 真空炉：用于产生真空环境，保护材料免受氧化等污染。
2. 气体分析仪：用于检测真空炉中的气体成分，以及杂质气体是否存在。
3. 电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）：用于分析材料中的多种元素含量。
4. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察材料的微观形貌，检测是否存在杂质等问题。
