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文章概述：X 射线荧光光谱仪：可用于检测金属材料中的外来夹杂元素。
扫描电子显微镜：能观察样品表面的微观结构，对外来夹杂进行形貌分析。
能谱仪：与扫描电子显微镜配合使用，可对夹杂进行成
X 射线荧光光谱仪：可用于检测金属材料中的外来夹杂元素。
扫描电子显微镜：能观察样品表面的微观结构，对外来夹杂进行形貌分析。
能谱仪：与扫描电子显微镜配合使用，可对夹杂进行成分分析。
光学显微镜：用于观察较大尺寸的外来夹杂。
电感耦合等离子体发射光谱仪：可检测多种元素，适用于外来夹杂的成分分析。
