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文章概述：X 射线光电子能谱（XPS）：用于分析材料表面的元素组成和化学状态，可检测到原子的内层电子和外层电子的结合能。
俄歇电子能谱（AES）：主要用于表面元素分析，可提供元素的化学状态信息，检
X 射线光电子能谱（XPS）：用于分析材料表面的元素组成和化学状态，可检测到原子的内层电子和外层电子的结合能。
俄歇电子能谱（AES）：主要用于表面元素分析，可提供元素的化学状态信息，检测范围包括外层电子。
紫外光电子能谱（UPS）：用于研究固体表面的价电子结构，特别适用于检测外层价电子的分布和能量。
