衬底检测通常包括对衬底材料的物理、化学、电学和光学性能的测试，以确保其质量和适用性。

外观检查：观察衬底表面是否有缺陷、划痕、污染等。

尺寸测量：确定衬底的长度、宽度、厚度等尺寸参数。

平整度检测：评估衬底表面的平整度。

粗糙度检测：测量衬底表面的粗糙度。

化学成分分析：检测衬底中的元素组成。

晶体结构分析：确定衬底的晶体结构。

电阻率测试：测量衬底的电阻值。

介电常数测试：评估衬底的介电性能。

热导率测试：测定衬底的热传导能力。

热膨胀系数测试：测量衬底在温度变化时的膨胀程度。

硬度测试：测定衬底的硬度。

耐磨性测试：评估衬底的耐磨性能。

耐腐蚀性测试：检验衬底对腐蚀介质的抵抗能力。

光学性能测试：包括透光率、反射率等。

荧光特性测试：检测衬底的荧光发射特性。

激光损伤阈值测试：确定衬底在激光照射下的损伤阈值。

杂质含量测试：测量衬底中的杂质含量。

晶体缺陷检测：检查衬底中的晶体缺陷。

表面污染检测：检测衬底表面的污染物。

应力测试：评估衬底内部的应力分布。

热稳定性测试：测定衬底在高温环境下的稳定性。

电学稳定性测试：评估衬底在电学环境下的稳定性。

老化测试：模拟衬底在长期使用过程中的性能变化。

可靠性测试：评估衬底在各种条件下的可靠性。

封装性能测试：检测衬底与封装材料的兼容性。

环境适应性测试：评估衬底在不同环境条件下的性能。