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文章概述：扫描电子显微镜（SEM）：用于观察脱碳表面的微观形貌和结构。
能谱仪（EDS）：分析脱碳表面的元素组成。
X 射线衍射仪（XRD）：检测脱碳表面的物相结构。
光学显微镜：观察脱碳表面的宏观形貌。
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察脱碳表面的微观形貌和结构。
能谱仪（EDS）：分析脱碳表面的元素组成。
X 射线衍射仪（XRD）：检测脱碳表面的物相结构。
光学显微镜：观察脱碳表面的宏观形貌。
硬度计：测量脱碳表面的硬度。
粗糙度仪：检测脱碳表面的粗糙度。
