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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析脱硅产物的物相组成。
扫描电子显微镜：可观察脱硅产物的微观形貌和结构。
能谱仪：用于元素分析，确定脱硅产物中的元素组成。
热重分析仪：分析脱硅产物的热
X 射线衍射仪：用于分析脱硅产物的物相组成。
扫描电子显微镜：可观察脱硅产物的微观形貌和结构。
能谱仪：用于元素分析，确定脱硅产物中的元素组成。
热重分析仪：分析脱硅产物的热稳定性和热分解行为。
比表面积分析仪：测量脱硅产物的比表面积。
粒度分析仪：检测脱硅产物的粒度分布。
X 射线荧光光谱仪：进行元素定量分析。
红外光谱仪：分析脱硅产物中的化学键和官能团。
